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俄罗斯自研350nm光刻机获批!-芯城品牌采购网

3月初,由泽列诺格勒纳米技术中心(ZNTC)自主研发的光刻系统,正式被纳入俄罗斯国家工业信息系统(GISP),同步列入国家工业设备目录,成为该国半导体制造自主化的重要里程碑。这款型号为RAVC.442174.002TU的光刻设备,是俄罗斯首款自主研发的对准投影式光刻机,专为超大规模集成电路(VLSI)生产设计,核心实现350nm分辨率光刻能力,标志着俄罗斯正式搭建起自主可控的微电子制造核心装备体系